碳化硅

浙江大学50mm厚6英寸碳化硅单晶生长成功

50 mm,是什么概念?一本字典的厚度、一个火柴盒的长度……对于日常生活而言,50 mm或许没有那么起眼,但是对于碳化硅单晶厚度来说,这个数值却不一般!近日,浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院-乾晶半导体联合实验室和浙江大学硅材料国家重点实验室在浙江省“尖兵计划”等研发项目的资助下,成功生长出了厚度达到50 mm的6英寸碳化硅单晶(图1),这在国内尚属首次报道。该重要进展意味着,碳化硅衬底成…

1970-01-01 • 1970-01-01