汕头大学在面向5G的集成电路用高纯陶瓷基板研究领域取得进展

近日,汕头大学工学院研究生黎达在中科院1区SCI期刊《Applied Surface Science》上报道相关研究成果,即通过接枝改性纳米氧化铝粉体,流延浆料中纳米粉体的含量提升至陶瓷相的45vol%,在99.6%高纯陶瓷基板制备的卡脖子领域实现技术突破。

据悉,高纯陶瓷基板是5G技术下大功率集成电路、新能源IGBT、三代半导体、卫星等领域的关键器件。纳米粉体可以显著降低陶瓷材料的烧结温度,用于流延陶瓷基板,可有效控制基板显微组织和电学性能。但由于纳米颗粒具有较大的比表面积以及高表面活性,纳米粉体容易聚团,导致浆料流动性急剧下降,制约了纳米粉体在流延成型技术中的大量应用。

汕头大学工学院消息称,改性氧化铝纳米颗粒技术使得流延陶瓷浆料稳定性大幅提高,静置12天后浆料的沉降率仅为4%,浆料中纳米粉体的含量提升至陶瓷相的45vol%,制备的流延陶瓷生坯表面光滑无缺陷。

黎达作为第一发明人获得相关发明专利授权。该工作得到广东省教育厅创新强校基金重点领域专项基金和广东省高校科技成果转化基金资助。

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